MEMS/传感技术
压力传感器也是工业实践中最为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。
压力传感器是在安全系统中最常用的,但是大家对这个各类压力传感器应用可能不太熟悉,接下来,就让我们一起了解了解各类压力传感器应用。
压力传感器是压力检测系统中的重要组成部分,通常由压力敏感元件和信号处理单元组成,它能感受压力信号,并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。
按不同的测试压力类型,压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器。另外,压力传感器也是工业实践中最为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。
一、压阻式压力传感器
固体受力后电阻率发生变化的现象称为压阻效应。压阻式压力传感器是基于半导体材料(单晶硅)的压阻效应原理制成的传感器,就是利用集成电路工艺直接在硅平膜片上按一定晶向制成扩散压敏电阻,当硅膜片受压时,膜片的变形将使扩散电阻的阻值发生变化。
压阻式具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。
二、应变式压力传感器
应变式压力传感器是把压力的变化转换成电阻值的变化来进行测量的,应变片是由金属导体或半导体制成的电阻体,其阻值随压力所产生的应变而变化。
三、压电式压力传感器
某些电介质沿着某一个方向受力而发生机械变形(压缩或伸长)时,其内部将发生极化现象,而在其某些表面上会产生电荷。当外力去掉后,它又会重新回到不带电的状态,此现象称为“压电效应”。 压电式传感器的原理是基于某些晶体材料的压电效应。
四、电容式压力传感器
电容式压力传感器采用变电容测量原理,将由被测压力引起的弹性元件的位移变形转变为电容的变化,用测量电容的方法测出电容量,便可知道被测压力的大小。
五、压磁式压力传感器
压磁式压力传感器的原理,某些铁磁材料受到外力作用时,引起导磁率变化现象,称作压磁效应。其逆效应称作磁致伸缩效应。硅钢受压缩时,其导磁率沿应力方向下降,而沿应力的垂向增加;在受拉伸时,导磁率变化正好相反。如果在硅钢叠片上开有4个对称的通孔,孔中分别绕有互相垂直的两个线圈,如左图(图压磁元件工作原理)所示,一个线圈为励磁绕组,另一个为测量绕组。无外力作用时,磁力线不和测量绕组交链,测量绕组不产生感应电势。当受外力作用时,磁力线分布发生变化,部份磁力线和测量绕组交链,并在绕组中产生感应电势,且作用力愈大,感应电势愈大。
压磁式压力传感器的典型代表是压磁式转矩传感器。
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