MEMS/传感技术
电感式传感器是利用线圈自感或互感系数的变化来实现非电量电测的一种装置。利用电感式传感器,能对位移、压力、振动、应变、流量等参数进行测量。它具有结构简单、灵敏度高、输出功率大、输出阻抗小、抗干扰能力强及测量精度高等一系列优点,因此在机电控制系统中得到广泛的应用。它的主要缺点是响应较慢,不宜于快速动态测量,而且传感器的分辨率与测量范围有关,测量范围大,分辨率低,反之则高。
电感式传感器的工作原理是电磁感应。它是把被测量如位移等,转换为电感量变化的一种装置。按照转换方式的不同,可分为自感式(包括可变磁阻式与涡流式)和互感式(差动变压器式)两种 。
电感式传感器是利用电磁感应把被测的物理量如位移、压力、流量、振动等转换成线圈的自感系数和互感系数的变化,再由电路转换为电压或电流的变化量输出,实现非电量到电量的转换。
电感式传感器的常见测量电路有交流电桥式测量电路、变压器式测量电路、谐振式测量电路、差动整流电路、相敏检波电路等。
电感式传感器的测量电路的主要形式可以是电压、电流、磁感强度、力、距离等测量电路。
付线圈可以直接输出电压、电流;用霍尔元件测量磁感强度、磁路与衔铁连接会产生力,用压力传感器可以测量电感量的变化、用一个弹簧顶住衔铁,随力的大小变会,距离产生了变化,可以再用位移传感器将电感量的变化测出。
还可以用振荡器将电感的变化转换为频率的变化,只要测出频率就知道电感变化了多少。还有涡流、调幅、PWM波等等。
在上述内容中,都是其它一些因素引起电感量的变化。
各种传感器都有相通之理,实际上,对变化参量引起电感变化的应用太多,但要加上其它条件可能主要形式就有相应的变化。
全部0条评论
快来发表一下你的评论吧 !