音圈电机在芯片制造过程中被得到了广泛的应用

音圈电机助力的大型紫外3D直写光刻设备投入运行。近日苏大维格科技官方宣布，大型紫外3D直写光刻设备 iGrapher3000下线并投入工业运行。iGrapher3000 主要用于大基板上的微纳结构形貌的3D光刻，是新颖材料、先进光电子器件的设计、研发和制造的全新平台，堪称为光电子产业基石性装备，为产业合作创造新机遇。

据小编音圈电机所知，此次安装在维业达科技有限公司黄光车间的 iGrapher3000，The first工业应用项目是大尺寸透明导电膜的深槽结构微电路模具，并将用于大面积平板成像、柔性导电器件和全息显示与3D显示研发和产业化应用。

iGrapher3000 先在110吋幅面玻璃基板上实现连续面型微结构大面积平板器件，深度范围 50nm~20 微米；建立海量数据处理能力并转化成所设计的微纳结构形貌，涉及单文件数据量达 600Tb；建立支持110吋光刻胶板厚胶制程（2 微米~ 25 微米），用于后继印版工业化生产。

光刻机是制造芯片所需要的设备，音圈电机在芯片制造过程中也是被广泛应用到的。

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