压电千分尺在电动调节压电驱动机构中的应用

P84系列压电千分尺是宏动手动调节千分尺与电动调节压电驱动机构相结合的运动平台。它的宏动手调范围为13mm，压电驱动调节范围为100μm。精调精度可达4nm。

特点：X向运动，1~3维运动可选；手调千分尺行程 13mm，分辨率达 10µm；压电精调行程 100µm，分辨率达4nm；压电调节可选配传感器。

对于厚度检测应用，压电千分尺的粗调已逐渐不能满足测量的要求，特别是对于待测厚度非常薄，达微米甚至纳米时，千分尺的步进调节就达不到精度要求。因此，在千分尺上集成压电驱动机构，可显著提高步进调节精度，可达纳米甚至亚纳米级。

可选配移动台面

对于负载需要额外平台来带载的应用，可选配移动台面，标准尺寸为65×65mm，台面具有M4及M6螺纹孔，可供固定负载使用。

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