MEMS/传感技术
目前,人类活动产生的二氧化碳排放已达到历史峰值。根据数据显示,2011年全球二氧化碳排放量是1850年的163倍。
1850年,英国是全球最大的二氧化碳排放国,排放量几乎是第二大排放国美国的6倍。此外,前五大排放国还包括法国、德国和比利时。2011年,中国成为世界最大的排放国,美国、印度、俄罗斯和日本紧随其后。
众所周知,二氧化碳作为主要气体之一,对农业、工业等各个领域都有重要的影响,随着现代社会的不断进步,二氧化碳的含量也逐渐变多,研究表明地球的温室效应从工业革命就开始形成了,如今大有愈演愈烈的态势。
所以,为了解决二氧化碳所带来的的环境污染,研发一款二氧化碳气体传感器是很有必要的。二氧化碳传感器主要检测大气环境中的二氧化碳成分。
国外发达国家对吸收式气体传感器技术的研究起步比较早:最早用光谱吸收式光纤传感技术进行气体浓度测量研究的是日本Tohoku大学的H.inaba和K.Chan等人,在光纤透射窗口波段范围内,作了一些气体传感的基本研究。
1979年,他们提出利用长距离光纤进行大气污染检测,1983年,他们将LED作为宽带光源,配合窄带干涉滤光片,对甲烷在1331.2nm附近的光谱进行检测,在这一系统中的气室长度为0.5m,传输光纤为10km长的多模光纤,接收器件采用冰和甲醇混合制冷的锗探测器,系统最小探测灵敏度为25%LEL(气体爆炸下限)。其后,1985年,H.Inaba和K.Chan及H.Ito等人又用InGaAs材料LED作为光源去对准甲烷在1665.4nm处的谐波吸收峰,系统最小探测灵敏度提高了一倍。
二氧化碳的检测方法有很多种,主要有气相色谱法、滴定法,固体电解质式、电容式、光纤检测法,红外吸收法等多种办法。
国内红外吸收型二氧化碳气体传感器的研究起步较晚,目前,国内生产和使用的传感器主要是固体电解质式、钛酸钡复合氧化物电容式、电导变化型后膜式等,这些传感器存在许多不足之处:对气体选择性差、容易出现误报,并且系统需要频繁校准,使用寿命短等缺点。直到2005年我国非分光红外(NDIR)气体传感器技术研究才取得新进展,但是,其关键元件仍然需要进口。红外气体检测技术在我国无论是在用新技术改造传统产业,还是在替代进口各方向都有明显优势,应用范围广泛,具有明显的经济和社会效益。
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