MEMS/传感技术
在石油、钢铁、电力、化学等生产工艺过程中压为是非常重要的参数。此外,在机械制造技术方面,从小批量生产到连续程序控制.从小规模的设备到大规模的成套设备和不断发展的多功能的成套设备.都需要大量的压力传感器。为厂使这些复杂化、大规模化的成套设备能安全运转,对压力传感器的可靠性和稳定性的要求也越来越高.
下面就性能良好,可靠性高的电容式传感器加以叙述,如下图。
测量压力有表压力及绝对压力测量二种方式。表压测量采用以大气压为基准测容器内压力的方法。绝对压力的测量是采用以绝对真空为基准而测容器内压力的方法。二者的基本原理相同,所不同的是表压传感器将低压例制成对照大气开口的结构;而绝对压力测量则把低压设在真空室的结构.对高压和低压两例的接触溶液膜加压后,通过密封液加到感压膜上,感压膜(可变电极)接着高压侧和低压侧的压力差成正比地改变位置,感压膜的位移,使膜与两侧固定电极之间形成路电容运差,这个静电容放差位经电路转换、放大后就变成4-20mADc的输出信号。
该传感器的特点:
1、具有能实现高可可靠性的简单盒状结构;
2、具有0.2%、50度的高温特性;
3、小型轻量和耐振性强
4、测量范围宽.
5、温度范围宽
6、内有指示针
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