使用静电计测量仪表实现低电平高精准的测量

精准测量高范围电阻的方法

许多测试应用要求测量高级别材料的电阻率（面电阻率和体电阻率）。传统测量方法是对样本施加足够高的电压，测量流经样本的电流，然后利用欧姆定律（R=V/I）计算其电阻。由于高阻材料和器件产生很小的电流，很难准确进行测量，即使利用高精度仪器，材料中固有的背景电流也使得进行准确测量较为困难，吉时利 6517B 型静电计/高阻表旨在解决这些问题，并为各种材料和元件提供一致、可重复和精准的测量。

静电计用于精准测量高范围电阻

静电计是一种高度精密的直流多用测量仪表，不仅可以完成一般直流数字多用表的测量功能，凭借特殊的输入特性和高灵敏度，静电计也可胜任常规多用表力所不能及的电压，电流，电阻和电荷测量。它可以同时测量非常微弱的电流和高阻抗电压。使用静电计还可以进行电容漏电流测量和绝缘电阻测量。静电计具备 10fc 的电荷测量分辨率，100aA 的电流分辨率，以及高达 200TΩ 的阻抗测量能力，超越了标准的数字万用表。也可用于需要极端灵敏度或者需要多种类型的灵敏电子线路测量的场合。

其应用场景多为：表征高兆欧级电阻、确定绝缘体的电阻率和测量印刷电路板的绝缘电阻。

Keithley 6500 系列静电计

吉时利5 位半 6517B 静电计/高阻表提供的精度和灵敏度指标高于其他同类型仪表。它还具有完备的功能，使测量高阻和绝缘材料电阻率变得简单。6517B 具有425 读数/秒的测试速率，比同类型的静电计快很多，可以提供快速、简易的弱电流测量能力测量弱电流。

半机架型 6517B 静电计/高阻表具有特殊的低电流输入放大器，其输入偏置电流《3fA，噪声仅0.75fA p-p （峰-峰） ，输入端压降《20μV。对于接近理想的电路负载，其电压和电阻测量的输入阻抗是 200TΩ。这些性能指标确保物理、光学、纳米技术和材料科学等研究领域低电流和高阻抗电压、电阻和电荷测量所需的准确度和灵敏度。内置±1kV的电压源具有扫描能力，从而简化漏流测试、击穿电压测试和电阻测试，以及绝缘材料的体电阻率（Ω-cm） 及表面电阻率（Ω/square） 的测量。

6517B 静电计/高阻表

（1）电阻测量可达 10E16Ω

（2）电流测量范围 1fA - 20mA

（3）最小电流量程输入端压降《20μV

（4）200TΩ 输入阻抗

（5）《3fA 偏置电流

（6）测试速率高达 425 rdgs/s

（7）噪声0.75fA p-p

（8）内置±1kV电压源

（9）独特的高电阻测量电压反接方法

（10）可选的插件式扫描卡

精准测量微弱电流的方法

皮安表用于精准测量微弱电流

在较高的电流水平上，普通数字多用表的输入电压降（电压负担）高达几百毫伏，不可能完成精确的电流测量。

皮安表实质上是静电计中安培表功能的延续。与静电计相比皮安表具有类似的低输入端压降，相同或稍快的测量速率，较低的电流灵敏度和低廉的价格。皮安表的低电压负担，使得它的功能更像是一个理想的电流表，因此它可以实现高精度的电流测量，即使是在测试具有非常低的源电压的电路时也是如此。皮安表还可能具有其他特殊的性能，如高速对数响应或内置的电压源等。

Keithley 6400 系列皮安表

吉时利的皮安表具备了数字万用表的经济性和易用性，以及接近于静电计的、对微弱电流的灵敏度。

经济实惠的5½位 6485 型皮安表可以测量 10fA 至20mA 的电流，速度高达每秒 1000 个读数。它结合了Keithley 在高灵敏度电流测量方面的专业技术，有更快的处理速度，坚固的设计。带有八路电流测量范围和高速自动量程，电流测量范围为 20fA-20mA。运用最新的电流测量技术，相较于其他类似功能的仪器，价格大大降低。6485型皮安表适用于大部分实验室和生产环境。

6485型皮安表

（1）测量电流分辨率 10fA

（2）5½ 数字精度

（3）负载电压小于 200μV

（4）内置 Model 485 模拟模式

（5）IEEE-488 与 rs-232 接口

6482 型双通道皮安表/电压源提供两个独立的皮安表/电压源通道，它提供比 6485型更高的测量分辨率和双独立30V电压偏置源。适合需要双通道测量的多种低电平测量应用。

由于具有双通道测量能力，6482 型双通道皮安表/电压源成为一个强大的测量工具，适合分析多通道器件，监控材料中多个位置的电流，并立即记录来自多传感器的数据。双通道能力更容易实现控制和数据聚集。更高的通道密度增加了受限空间内的仪器数量（和通道）。

6482 型双通道皮安表/电压源适合与电子材料及器件特性分析有关的各种应用，包括实验室、研究与开发以及工厂的低电流操作。应用领域包括：元器件制程测试、双二极管测试、半导体元件测试、多管脚元件测试、暗电流测试、离子束监测、电子显微镜。

6482型双通道皮安表/电压源

（1）双通道 6 位半测量能力

（2）双±30V 偏置电源

（3）测量电流高达 20mA

（4）测量电流分辨率 1fA

（5）0–10V 模拟输出用于高分辨率测量反馈

（6）支持装配工艺、最终测试、部件binning和技术规范

（7）每通道具 3000 点缓存，支持测试完成后数据发送

（8）触发连接，用于器件进仓与扫描测试操作

（9）IEEE-488与RS-232接口

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