XD303系列大负载压电偏转镜系统，最高承载可达500g

XD303系列压电偏转镜采用钢材料壳体，具有高刚性，是专为大承载应用而设计，承载能力达500g，适于带载大型镜片做快速偏转运动。

特性

• θx、θy 二维偏转 • 承载能力达500g • 高谐振频率 • 响应速度快

驱动原理

压电偏转镜（两轴运动）是基于平行运动学设计，具有共面轴及移动面。四个执行机构（压电促动器）以90°角平分放置，成对的差分控制分布。两对差分驱动压电促动器在较大温度范围内提供最高可实现的角度稳定性。它的偏摆运动是由两对压电促动器以推拉模式来实现，采用桥式连接电路控制。

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