美光声明：目前并无采用三星EUV计划

据中国台湾经济日报报道，三星（Samsung）明年可能导入极紫外光（EUV）技术生产内存，美光（Micron）企业副总裁、中国台湾美光董事长徐国晋表示，美光不打算跟进，目前并无采用 EUV 计划。

市调机构集邦科技预计，明年动态随机存取存储器（DRAM）可能跨入 EUV 世代，将由三星抢先导入 EUV 技术，以提升成本结构与生产效率。

据台媒指出，徐国晋 7 日接受采访时表示，美光目前采用浸润式设备，配合其他制程可以达到一样的效果，并无采用 EUV 计划。

原文标题：三星拟采用 EUV 技术生产内存，美光：不打算跟进

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责任编辑：haq