压电纳米定位台在锡膏厚度检测中的应用

锡膏测厚检测是利用激光非接触三维扫描密集取样技术，为了收集和高度有关的信息，在拍摄的图像上采用压电纳米定位台带动光栅移动，每移动一次拍摄一组图像，最终合成一组图像，描绘出锡膏的厚度分布图，可以监控锡膏印刷质量，减少产品不良率。

P11.XYZ为三维压电纳米定位台，平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体化的结构设计。

机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现XYZ三轴100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有高导向精度、高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。

fqj