P33系列压电偏转镜在高频激光加工中的应用

在涉及到微米级小孔的超快激光加工应用中集成压电偏转镜，具有加工精度高、加工速度快等特点。已广泛应用于航天器件微小孔加工、异形孔加工等领域。

P33.T8S系列压电偏转镜是具有快速响应且体积紧凑等特点的偏转平台，提供顶端面的高精度角度运动，与其他执行器相比，柔性铰链导向的压电偏转平台可提供更高的加速度，使阶跃响应时间在亚毫秒范围。P33.T8S在10mrad满行程工作频率达50Hz，可连续工作15天。

特点

• 二维θx、θy 偏转

• 偏转范围可达12.5mrad

• 亚毫秒响应时间

• 闭环定位精度高

• 温度稳定性高

高动态 闭环精度高

在机械结构的合适位置采用应变传感器来得到高稳定性及定位精度，他们提供了较高的带宽并向控制器发送定位反馈信号，传感器以桥式配置连接以消除热漂移从而确保优质的稳定性。

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