中芯国际回应被美方列入“实体清单”

针对被美方列入“实体清单”一事，中芯国际20日晚做出回应。

中芯国际表示，经公司初步评估，该事项对公司短期内运营及财务状况无重大不利影响，对10纳米及以下先进工艺的研发及产能建设有重大不利影响，公司将持续与美国政府相关部门进行沟通，并视情况采取一切可行措施，积极寻求解决方案，力争将不利影响降到最低。

中芯国际指出，自9月5日从媒体获悉可能被美国商务部列入贸易黑名单以来，公司一直努力与美国政府相关部门沟通，以期得到公平、公正的对待。但遗憾的是，公司仍然被列入了“实体清单”。对此，公司表示坚决反对，并再次重申，公司自成立以来一贯恪守合规运营的原则，严格遵守生产经营活动所涉及相关国家和地区的法律法规，从未有任何涉及军事应用的经营行为。

商务部新闻发言人12月19日就美国商务部将59家中国实体列入出口管制“实体清单”答记者问时表示，美方泛化国家安全，不断滥用出口管制等措施对他国企业、机构和个人持续进行打压，对国际经贸秩序和自由贸易规则造成严重破坏，对全球产业链供应链安全造成严重威胁。这不利于中国，不利于美国，也不利于整个世界。

下一代先进工艺发展受阻

中芯国际被列入“实体清单”在市场预期之内。10月初，公司确认遭到美国出口管制。

中芯国际公告称，被列入“实体清单”后，根据美国相关法律法规的规定，针对适用于美国《出口管制条例》的产品或技术，供应商须获得美国商务部的出口许可才能向中芯国际供应；对用于10纳米及以下技术节点（包括极紫外光技术）的产品或技术，美国商务部会采取“推定拒绝”的审批政策进行审核；同时中芯国际为部分特殊客户提供代工服务也可能受到一定限制。

在逻辑电路领域，目前还遵循着“摩尔定律”，即每隔18-24个月，晶体管的数量增加一倍，性能也将提升一倍。因此，拥有更为领先的工艺技术意味着赢得更多的市场机会。5G手机、高性能计算、物联网、自动驾驶等场景需要用到的芯片中，CPU、GPU、SOC等核心器件的技术节点已基本推进到7纳米或者5纳米，AI芯片亦是。

尽管中芯国际当前量产的最先进工艺只是14纳米，但公司已经储备了更加先进的工艺技术。如果美方上述政策不调整，公司已开发但未量产的先进技术或只能束之高阁。

相对而言，成熟工艺受到的影响长期可控。中金公司黄乐平团队认为，对于10纳米以上制程，中芯国际在生产中除了会使用美国设备以外，也会采购美国产半导体材料（如气体等电子化学品）及EDA软件。预计公司在向美国政府申请出口许可的同时，也会积极导入日本、欧洲及国产等新供应商，长期看影响有限，但短期是否会对供应链稳定造成影响有待观察。

目前，中芯国际在上海、北京、天津、深圳四地共建有7座晶圆厂。从尺寸来看，4座为12英寸产线，3座为8英寸产线。从工艺节点来看，2座为先进工艺产线，5座为成熟工艺产线。其中先进工艺产线分别为中芯南方（14纳米及以下）和中芯北方（28纳米），这两座晶圆厂生产的芯片尺寸都是12英寸。

中芯国际的产能利用率维持在高位，换句话说，如果扩产计划和下一代先进工艺量产没法落地，在不提价的情况下，公司需要采取更为严格的成本管控，才能有效缓解较高折旧对盈利的冲击。折合8英寸晶圆计算，今年第三季度，公司月产能为51.02万片，产能利用率为97.8%。而在第三季度的晶圆收入中，85%由成熟工艺贡献。

增强自主可控

28纳米产线可期

固然形势严峻，但不是没有机会，65纳米及以上制程方面，国产材料与设备已经取得长足进步。多个消息称，国内厂商正在合力打造一条去美化的28纳米芯片制造产线。

据了解，国内厂商有望在明年开发出可用于生产28纳米芯片的干式双工件台光刻机，并计划2022年开发出可用于生产28纳米芯片的浸没式双工件台光刻机。

光源、光学系统和工件台系光刻机的三大核心组件，而国产可用于生产28纳米芯片的浸没式光刻光源、浸没式ArF曝光光学系统和浸没式双工件台均有望在明年实现。

刻蚀机方面，在硅刻蚀领域，国产28纳米刻蚀机已基本量产，14纳米进入中芯国际产线，7纳米正在研发；在金属刻蚀领域，国产28纳米刻蚀机已基本量产，14纳米进入中芯国际产线。

薄膜沉积设备方面，国产28纳米PVD设备和国产28纳米CVD设备都已批量出货，且14纳米也都已部分验证成功，同时正在研发7纳米；国产28纳米PECVD设备批量出货，14纳米已部分验证成功。

离子注入机方面，在中速流和大速流领域，国产28纳米的设备已基本量产，22纳米进入中芯国际产线，14纳米正在开发；高能离子注入方面，28纳米进入中芯国际产线，22纳米正在研发。

一位半导体产业基金合伙人表示：“受客观规律制约，要在一些领域实现技术和产业的超越都需要长时间的积累。而一旦赶起来，有时候往往会意料之外的快。65纳米及以上产线，如果全面用国产设备，然后利用国内庞大的市场需求，可以实现快速迭代。我觉得完全可以利用市场养分，支持国产材料与装备企业的发展。”

一家半导体装备材料投资机构的负责人认为，从经济角度看，全球化下的专业分工是最好的，能大幅降低成本，但从国家安全角度讲，有必要自主可控。
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