ASML发布全新晶圆检测设备

提及ASML的大名，相信无人不知，无人不晓，因为在光刻机智造领域，它若称二，没人敢称一，其中ASML生产的EVU光刻机更是“有钱难求”。

而近期，ASML推出了除光刻机外的新产品，即一代HMI多光束检测机HMI eScan1000，该晶圆检测机适用于2020年即将量产的5nm和更先进工艺，能让厂商的产能暴涨600%左右。

据悉，代HMI多光束检测机HMI eScan1000的内部拥有非常复杂的光电子系统，自身就能批量产生和控制电子束，然后根据反射回来得电子束成像来分析生产中得晶圆质量。另外，它还高速运行的平台和计算系统，可以准确地控制与处理测试晶圆的数量、电子束的数据。

说到晶圆检测设备，直线电机模组在其中已有一系列实际应用案例，不知道一代HMI多光束检测机HMI eScan1000有无引入直线电机模组。

昆山同茂电子有限公司深耕直线电机模组领域十余年，同茂造高精密直线电机模组的主要应用领域便是晶圆检测、激光加工、基因测序等。
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