芯明天N62系列稳像压电扫描台的介绍

杨明远 2021-02-20 772

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描述

N62系列压电扫描台为XY 轴平移扫描台，机构放大设计原理，中心通孔孔径为26mm，可以实现XY轴±10μm的位移行程，产品体积小巧、结构紧凑易于集成与安装。

频率负载曲线

压电陶瓷

高动态高分辨率

N62系列压电扫描台为小体积高精度平移扫描台，是特别为高分辨率、高动态、高定位精度应用而设计的XY轴扫描台，内置高可靠性压电陶瓷，可以实现XY轴±10μm的位移行程，分辨率可以达到0.5nm，满行程重复定位精度达纳米级。产品采用不锈钢材质，特殊的结构设计使其具有非常大的刚度，空载谐振频率达2000Hz，满足工业上对高频率、高精度等应用的需求。

动态性能好

下图为N62.XY20K带载10g负载在500Hz频率下位移曲线。

压电陶瓷

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