多晶硅生产污染物回收处理流程图

多晶硅生产污染物回收处理流程图

高纯多晶硅生产，工业上广泛采用三氯氢硅还原法，也称西门子法。三氯化硅在还原炉中生产多晶硅的同时会生成副产品污染物四氯化硅。四氯化硅完全可以回收利用，加氢气可以还原为三氯氢硅，再进一步作为原料加工成纯硅，进入生产循环，提高产率；另一方面，四氯化硅也可以可以制作为白炭黑，用于化工生产，此外，四氯化硅还可以溶于水生成二氧化硅和氯化氢，二氧化硅可以用于制造玻璃，氯化氢可以做工业原料。