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XD603系列压电纳米定位台是一维X向运动压电平台,平台采用抗振动设计,内置高可靠性压电陶瓷,无摩擦柔性铰链导向机构,具有分辨率高、行程大等特点。
特性:
一维X轴运动
行程范围可达±165μm
抗振动设计
高低温版本
闭环精度高
大行程、高可靠性、高稳定性
XD603为压电陶瓷驱动、高可靠性压电纳米定位台,可以实现±165μm的位移行程,优异的结构设计具有无摩擦、导向精度高等特点。
闭环版本内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器(SGS),配备在驱动机构的合适位置,它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。与E70系列控制器配套使用,具有高稳定性。
推荐控制器
XD603系列压电位移台,可搭配芯明天E70系列压电控制器使用,模拟与数字控制,体积小巧,高性能搭配。
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