×

上海半导体装备材料入股华卓精科,迅速布局国产核心装备大赛道

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小: | 2021-03-07

李丽

分享资料个

与非网 6 月 10 日讯,据悉,上海半导体装备材料基金已成功入股华卓精科万业企业作为装备材料基金的主要 LP,通过基金入股,迅速布局光刻机双工台核心设备。

 

华卓精科生产的光刻机双工件台,打破了 ASML 公司在光刻机工件台上的技术垄断,成为世界唯二掌握双工件台核心技术的公司。

 

 

业内人士表示,华卓精科在光刻机双工件台技术上的突破,为我国自主研发 65nm 至 28nm 双工件干台式及浸没式光刻机提供了技术赋能,其对于国产核心装备发展具有远大的战略意义。

 

万业企业通过装备材料基金参投华卓精科,也有利于夯实万业企业战略布局国产设备赛道,提升万业企业的产业协同和价值收益。

 

据了解,华卓精科将于近期正式申请登陆科创板。

 

资料显示,北京华卓精科科技股份有限公司创立于 2012 年,由清华 IC 装备团队在清华大学及其下属“北京 - 清华工业技术研究院”和 02 专项的支持下创立,是一家肩负着专项重大科研成果产业化重任的高新技术企业。公司建立初衷在于将清华大学在 02 专项中积累的高端垄断技术落地产业化,通过“技术辐射&下行”的方式,面向国内市场提供产业界急需的高端零部件、子系统类产品。

声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉

评论(0)
发评论

下载排行榜

全部0条评论

快来发表一下你的评论吧 !