中北大学微纳加工中心4英寸MEMS工艺线

中北大学微纳加工中心依托动态测试技术省部共建国家重点实验室（培育基地）、仪器科学与动态测试教育部重点实验室、微纳惯性传感与集成测量教育部工程研究中心、山西省微米纳米工程技术研究中心等科研机构及中北大学仪器与电子学院科研团队，中心形成了完整的微/纳器件设计、加工、测试研发平台，在国内高校中处于先进水平。

中心占地面积1000平方米，拥有净化面积达500平方米的4英寸MEMS工艺线，配置了国际一流的微纳加工、测试、封装设备，具备硅基MEMS矢量水听器、MEMS压阻式压力传感器、MEMS加速度计、热电堆红外探测器等全套工艺加工能力，可为国内外同行提供微纳器件研发、工艺代工、工艺测试等技术服务。

中北大学微纳加工中心，热忱欢迎有需求的客户来电咨询并开展技术合作！

责任编辑：lq