压电纳米定位台的功能特点及技术参数

P11.Z100为小体积一维Z向压电平移台，平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现100μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。

压电定位台的控制精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，压电定位台体积小、结构紧凑易于集成。

特点

一维Z向运动

位移可达100μm

体积小巧

毫秒级响应时间

真空版本可选

闭环版本定位精度高 响应速度快

P11.Z100压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本，闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈，配置芯明天E00/E01、E52/E53等系列闭环压电控制器可实时对位移进行精密调整，实现纳米级的精密定位控制。

P11.Z100系列压电纳米定位台的响应速度快，配套E52系列压电控制器可实现0.8ms的阶跃时间。

宏微复合机构

P11.Z100配套宏动机构，可组成毫米级行程，纳米级分辨率的宏微复合机构平台。

技术参数

型号：P11.Z100

运动自由度：Z

行程范围（0~120V）：80μm

行程范围（0~150V）：100μm

闭环传感器类型：SGS

闭/开环分辨：7/4nm

闭环线性度：0.05%F.S.

闭环重复定位精度：0.02%F.S.

俯仰/偏航/滚动：<10μrad

推/拉力：30/10N

运动方向刚度：0.3N/μm

空载谐振频率：0.3kHz

闭/开环空载阶跃时间：10/0.8ms

承载能力：0.8kg

静电容量：1.8μF

材质：钢、铝

重量：100g
     责任编辑:tzh