台积电称其已解决造成40nm制程良率不佳的工艺问题

台积电称其已解决造成40nm制程良率不佳的工艺问题

　据台积电公司高级副总裁刘德音最近在一次公司会议上表示，台积电40nm制程工艺的良率已经提升至与现有65nm制程相同的水平，他并表示公司已经完美解决了先前造成40nm制程良率不佳的工艺腔匹配(Chamber matching)问题.

　　台积电19日举办了一场庆祝Phase5新厂房完工的庆典仪式，这间厂房隶属于新竹科技园区的台积电Fab12工厂.据悉新完工的Phase5厂房将于今年第三季度起开始批量投产28nm制程产品。

　　另据刘德音表示，台积电正在计划兴建Fab12 Phase6厂房，这座Phase6厂房将用于生产22nm制程产品。