大行程三维精密压电平台的特点及参数

　　大行程三维精密压电平台

P12.XY500Z800为大行程XYZ三维运动扫描台，平台采用机构放大设计原理，中心具有通孔，非常适用于近场扫描、共焦显微等应用。该系列扫描台XY轴程可达500μm，Z轴直线运动行程可达800μm。

中心通孔适配器为标准螺纹牙W0.8×1/36“，便于与显微镜集成安装。可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。平台内部采用有限元分析（FEA）优化的线切割挠曲铰链结构。FEA使其设计具有尽可能高的刚度，并使线性和角度跳动最小化。开环、闭环可选，真空版本可选。

特点

XYZ三维直线运动

XY行程500μm，Z向行程800μm

适用于物镜的三维定位调节

可定制真空版本

开闭环曲线

P12.XY500Z800 XY轴电压位移开闭环曲线。

技术参数

型号：P12.XY500Z800

运动自由度：XYZ

XY轴行程范围（0~150V）：500μm/轴

Z轴行程范围（0~150V）：800μm

闭环传感器类型：SGS

XY轴闭/开环分辨率：20/5nm

Z轴闭/开环分辨率：30/8nm

XY轴静电容量：28.8μF/轴

Z轴静电容量：43.2μF

承载能力：250g

重量：1000g（不含线）
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