S38系列压电偏转镜的特性及技术参数

S38系列压电偏转镜为小体积的θx、θy二维偏转运动平台，具有非常小巧的外形结构同时能够带动镜片快速响应，提供顶端面的高精度角度运动，与其他执行器相比，柔性铰链导向的压电偏转平台可提供更高的加速度，使阶跃响应时间在亚毫秒范围，可带载小型镜片做快速二维光路偏转调节，是光路调整、激光扫描等应用的理想选择。

特性

· θx、θy 二维偏转

· 可选行程1.5或3mrad

· 小体积，外径仅20mm

· 高谐振频率

高动态、高稳定性、闭环高精度

S38偏转镜结构紧凑，内部装配带有预紧的高可靠性压电促动器，集成在柔性铰链导向系统，提供了更好的性能及可靠性。在机械结构的合适位置采用应变传感器来得到定位精度，同时他们提供了较高的带宽并向控制器发送定位反馈信号，传感器以桥式配置连接以消除热漂移从而确保优质的稳定性。

开/闭环曲线

S38.T1开/闭环曲线。

闭环线性度曲线

S38.T1S闭环线性度曲线。

技术参数

型号：S38.T1

运动自由度：θx、θy

行程范围@120V：1.2mrad/轴

行程范围@150V：1.5mrad/轴

闭环传感器：SGS

闭/开环分辨率：0.5/0.02μrad

闭环线性度：0.3%F.S.

闭环重复定位精度：0.1%F.S.

空载谐振频率：7000Hz

静电容量：1.6μF/轴

重量：50g（不含线）

型号：S38.T2

运动自由度：θx、θy

行程范围@120V：2.4mrad/轴

行程范围@150V：3mrad/轴

闭环传感器：SGS

闭/开环分辨率：1/0.04μrad

闭环线性度：0.4%F.S.

闭环重复定位精度：0.2%F.S.

空载谐振频率：2000Hz

静电容量：3.6μF/轴

重量：60g（不含线）

责任编辑：tzh