作为半导体自动化生产不可或缺的软件,设备自动化系统EAP(Equipment Automation Program)是连接MES,RMS,APC,FDC等上层系统和设备层的沟通桥梁。在12寸Fab厂,量产线设备多达500台,8寸Fab厂量产线则有300台设备。
EAP被誉为“设备管理大师”,对生产线上的所有机台进行实时管控,实现设备运行的自动化;在高端应用中,借助AI技术,通过RCM实现Fab厂所有设备集中化远程控制,自动处理设备异常,自动修正配方,自动创建配方。
上扬软件的EAP支持的通信协议包括SECS (HSMS,GEM),PLC (西门子,欧姆龙,三菱,倍福等)。而支持的Fab厂工作模式有如下3种:Open Cassette,自动上料卸料机台SMIF (Standard Merchanical Interface),全自动模式 (AGV 或MCS)。
EAP的主要功能
机台状态数据收集,包括机台生产模式控制/初始化/启动/停止
机台活动数据的收集处理和追踪追溯
批次(Lot)校验/进站/出站/挂起
配方管理,包括ID校验、选择、上传和下载
警报管理,当机台发生故障时,提供报告,并通知相关人员进行处理
条形码/RFID/SMART TAG读取器管理
材料状态跟踪
设备状态监控
上扬软件EAP的特点
1.采用易用的开发工具
易用的开发工具便于系统开发,上手简单
工作流机制保证系统多任务平稳运行
2. 服务器模式,方便升级和部署
EAP Server以服务器模式运行,控制设备自动化跑货
Backup Server和Failover机制保证EAP Server不宕机
跨平台脚本化支持热发布
3. 良好的扩展性,便于与其它系统集成
易于与其他系统集成,如MES,MCS,SPC,RMS,FDC,APC等
多种通信方式支持,如Web Service, Message bus(RV, Active MQ, Rabbit MQ) 等
支持Linux操作系统,高效稳定
多语言支持
4. 适用于半导体6/8/12寸晶圆制造厂和先进/传统封装厂,光伏组件/电池厂
作为计算机集成制造系统CIM的重要软件,上扬软件的EAP与MES完美配合,减少并预防设备故障,缩短设备失效时间,优化设备利用率,从而提高半导体工厂的生产效率,避免人工操作失误,提高产品良率。
原文标题:设备管理大师 EAP
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责任编辑:haq
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