XY二维精密压电显微扫描台的特点、应用及技术参数

P15.XY100S/K65-B1为二维XY向运动压电平台，具有超薄的外形，可进行每轴100μm范围内的纳米级位置调整，P15.XY100S/K65-B1对于纳米范围的对准、纳米聚焦、测量等应用是非常理想的。可选配桥式配置的闭环传感器，消除温度漂移，保证了纳米范围的定位稳定性。同时，通过FEA优化了直线度与平面度，结构更紧凑、响应速度更快。

特点

• 二维XY向运动

• 行程达100μm/轴

• 承载力达500g

• 超薄尺寸

• 可安装真空吸盘

典型应用

• 表面检测

• 显微成像

• 激光技术

• 半导体加工与测试

大通孔 快速聚焦

P15.XY100S/K65-B1压电显微扫描台，大通孔设计主要是为了满足各种样品夹持结构，如真空吸盘。

压电陶瓷驱动具有快的响应速度，大大提高了成像捕获能力。对于有定位精度及稳定性需求的应用，可以选择配置SGS闭环传感器，提供高分辨率、快速响应的传感电压信号给压电控制器。全桥设计避免了温度的漂移，确保了纳米级定位精度。

表面绝缘压电陶瓷提供长使用寿命

压电扫描台采用高一致性、高稳定性的表面绝缘压电陶瓷，陶瓷抵抗外部环境的能力高且无漏电现象。

电压位移曲线

线性度曲线

技术参数

型号：P15.XY100S/K65-B1

运动自由度：XY

行程范围（0~120V）：80μm/轴

行程范围（0~150V）：100μm/轴

闭环传感器：SGS

通孔尺寸：55×65mm

闭/开环分辨率：10/5nm

闭环线性度：0.15%F.S.

闭环重复定位精度：0.05%F.S.

俯仰/滚动/偏航：≤10μrad

空载谐振频率：490Hz

闭/开环空载阶跃时间：50/20ms

承载能力：500g

静电容量：14.5μF

台体材料：铝

电缆长度：1.5m

责任编辑：tzh