利用S型数字源表进行微电子器件与材料实验

本科生微电子器件及材料实验目的

通过实验动手操作，加深对半导体物理理论知识的理解，掌握半导体材料和不同器件性能的表征方法及基本实验技能，培养分析问题和解决问题的能力。

本科生微电子器件及材料实验目录

实验一：金属-氧化物-半导体场效应晶体管特性IV特性测试实验

实验二：四探针法测量半导体电阻率测试实验

实验三：MOS电容的CV特性测试实验

实验四：半导体霍尔效应测试实验实验

实验五：激光二极管LD的LIV特性测试实验

实验六：太阳能电池的特性表征实验

本科生微电子器件及材料实验测试平台优势

满足本科生基础教学实验中微电子器件和材料测试需求

测试设备简单易用，专业权威，方便学生动手操作

核心设备测试精度高，满足新材料和新器件的指标要求

测试软件功能齐全，平台化设计，有专人维护支持，与专业测试软件使用相同架构

以基础平台为起点，可逐步升级，满足日益增加的实验室测试需求

本科生微电子器件及材料实验测试平台基本功能

实验名称	测试参数
金属-氧化物-半导体场效应晶体管特性的IV特性测试实验	输出特性曲线  转移特性曲线  跨导gm  击穿电压BVDS
四探针法测量半导体电阻率测试实验	四探针法电阻率ρ  材料阻值R
MOS电容的CV特性测试实验（低频 + 高频）	CV特性曲线
半导体霍尔效应测试实验	霍尔电压VH  霍尔电阻率ρ  霍尔系数RH  载流子浓度n  霍尔迁移率u
激光二极管LD的LIV特性测试	LIV特性曲线  阈值电流Ith  阈值电流对应电压值Vth  拐点Kink 线性电阻Rs
太阳能电池的特性表征	开路电压Voc 短路电流Isc  功率最大值Pmax 填充因子FF  转换效率η  串联电阻Rs 旁路电阻Rsh

本科生微电子器件及材料实验测试平台核心

测试平台的核心– 源测量单元（源表， SMU）

国产S型源表五表合一 四象限模式

四线/开尔文测试功能

小信号测试

满足先进器件和材料测试需求

交流测试使用LCR表

探针台：4寸或6寸手动探针台

责任编辑：tzh