什么是MEMS测试，MEMS测试的简介

测试MEMS器件需要不同的方法，因为有些MEMS芯片包含可动作的机械器件，测试时需要摇动器件来测试移动范围与结构的一致性，但是这种测试各自有相应的问题，例如成本。

“用大型ATE设备测试成本敏感型MEMS器件有点像大炮打蚊子，并不适合，”相关人员说，“不过现在已经有一点标准化的趋势，每一个半导体公司都把MEMS当作重要的IP资产，并开发自己的测试方案。与传统测试方法完全不同，需要很多垂直领域的知识。”

仅MEMS封装本身就可能会需要线性加速测试或旋转测试，当然芯片公司可以基于公开平台来定制化自己的测试需求。

“用户决定MEMS器件如何测试，”他说，“例如，汽车级产品就对测试要求严格得多。现在，测试成本占了MEMS产品的成本的30%至50%。虽然测试成本有下降的趋势，但物理世界还是给测试造成了很多麻烦。物理刺激(physical stimulus)有其本身的不确定性，需要微调和校正，但如果真对物理刺激进行微调，还是非常花时间的。”

fqj