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极端环境条件下对微位移测量的高要求
在工业生产中和科研项目中,有些位移测量应用需要在真空、低温环境中操作,例如航空航天、极地研究等领域,低温微位移促动器、模拟真空低温环境实验平台控制系统、极地天文望远镜镜片控制系统等用于低温真空条件下,需要在超低温和真空这种极端环境条件下的微位移测量。
这类的极端条件下对于测量仪器有着很高的要求,既要有高精度、高分辨率、低迟滞和线性误差,也需要保证能在极端环境条件下的工作稳定性,这对测量系统有着极高的要求。
真空低温环境微位移测量方案无惧极端环境
真尚有科技的真空低温环境微位移测量方案,使用极端温度电容传感器来实现在超低温、真空环境下的微位移测量。
为了降低极端温度带来的影响,,可以根据实际情况进行定制,可选用具有高热稳定性结构,提供超殷刚和陶瓷等材料以最大程度地减少位置漂移。最高可以实现亚纳米或纳米级的位置分辨率,可提供20um至11mm的测量范围,其频率响应高达5KHz,线性度低至0.02%。
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