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P12B.XYZ100压电扫描台为3维并联式平移扫描台,台体中心通孔,内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构,采用有限元仿真分析优化结构,具有高导向精度、高刚性、大负载、无磨损等特点。
平台内可选择配置高性能传感器进行全闭环反馈,实现0.05%F.S.重复定位精度。P12B.XYZ100压电扫描台扫描范围可达100μm/轴,闭环扫描精度高,直线运动无偏航。产品广泛应用于表面测量、显微成像等应用领域,同时适用于真空应用,满足客户真空应用需求。
特点
· 三维XYZ向运动
· 行程100μm/轴
· 中心通孔Ø10mm
· 适用于真空应用
应用领域
· 扫描显微/表面测量
· 共焦显微/半导体测试
· 晶圆定位/图像处理与稳定
· 光纤定位/光学扫描
技术参数
型号:P12B.XYZ100
运动自由度:XYZ
行程范围(0~150V):100μm/轴
传感器类型:SGS
中心通孔:Ø10mm
外径:Ø49mm
静电容量:3.6μF/轴
承载能力:0.2kg
工作温度范围:-20~80℃
材质:钢、铝
外形尺寸(高):38.5mm
出线长:1.5m
传感/电压连接器:LEMO
责任编辑:tzh
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