镜面微位移测量方案的介绍

精密镜面位移有难度

随着国防科技、精密制造等领域中，机械装置想着超精密化方向的发展，如芯片制造、天文观测、激光加工等领域，对于其中用到的镜面偏转装置也有着更高的要求，需要对于镜面偏移装置的精密微位移、偏移有极高的测量要求，这对于镜面偏转装置的驱动控制有着极为重要的意义。

对于镜面偏转的微位移测量，大多在微米级的位移量，对于分辨率更有着极高的要求，并且部分应用中，还会用于比较特殊的环境中，例如高原、极地天文望远镜或者真空中光刻机的等温度条件或高压条件，这种种因素都对镜面的微位移测量提高了难度。

真尚有提出新方法

真尚有科技在镜面微位移的精密测量有着自己独特的技术，利用电容测微原理的非接触式位置测量系统，以此来测量镜面偏移装置的精密微位移，对于温度变化大带来的温漂范围大以及真空高压，真尚有提供定制性方案，定制探头使用具有高热稳定性材质的超殷钢、塞尔杜尔和陶瓷材质带来稳定的测量，实现高辐射，特高压，低温解决方案。

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