压电偏转镜的特点、应用及参数

S23.ZT1K系列压电偏转镜为θx、θy偏转/俯仰及Z轴升降台，台体中心通孔，产品体积小巧、结构紧凑，可以实现的偏转范围为1.5mrad， Z轴直线运动行程为10μm，产品为开环版本，具有非常高的分辨率及响应速度，是干涉扫描移相的理想选择。

特点

• θx、θy 偏转，Z 轴升降

• 中心通孔：Ø10mm

• Z向行程10μm

• 偏转角度可达1.5mrad/轴

• 温度稳定性高

应用

• 图像处理与稳定

• 激光扫描/光束偏转

• 主动及自适应光学

• 光学滤波器

• 光束稳定

中心通孔 高动态性

SS23.ZT1K压电偏转镜为多轴俯仰升降台，产品体积为Ø20×19.5mm， 可以实现θx、θy轴1.5mrad的偏转，Z轴10μm的升降。具有非常高的分辨率及亚毫秒的响应速度，三角架结构设计具有很宽的使用温度范围。台体中心带有通孔，孔径为Ø10mm，适用于透光应用，如光过滤等。

可配套镜片转接座

SS23.ZT1K可选择配套镜片转接座，用于镜片的安装与固定。

技术参数

型号：S23.ZT1K

运动自由度： θx、θy、Z

θx、θy偏转角度（0~120V）：1.2mrad（≈240”）

Z向直线行程（0~120V）：8μm

θx、θy 偏转角度（0~150V）：1.5mrad（≈300”）

Z向直线行程（0~150V）：10μm

θx、θy偏转分辨率：0.02μrad（＜0.01”）

Z 向位移分辨率：0.1nm

空载谐振频率：θx6.9/θy6.9/Z16.5kHz

空载阶跃时间：0.5ms

静电容量：0.5μF/轴

材质：钢

重量：80g

推荐控制器

SS23.ZT1K压电偏转镜为θx、θy偏转及Z轴升降开环运动机构，可配套芯明天三通道E70.C3K开环压电控制器，实现精密运动控制。

责任编辑：tzh