一维X向压电纳米定位台的特点、应用及参数

P60.X250是高精度的一维X向压电纳米定位台，平台采用有限元分析（FEA）优化的线切割挠曲铰链结构，内置高性能压电叠堆陶瓷，具有非常高的线性度，运动行程可达330μm，已广泛应用于干涉、显微、精密加工等领域。

P60.X250可以选择开环或闭环版本，闭环版本内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（SGS），以消除热漂移，使得该系列纳米定位台可以实现非常高的线性度与重复度。同时，其抗震动的设计，非常适用于相关实验及应用环境。

特点

• X向运动

• 行程可达330μm

• 抗振动设计

• 两通道控制（含1路恒压）

• 差分驱动

• 快速响应

应用

• 计量/干涉

• 纳米定位

• 质量保证测试

• 精密控制

电压位移曲线

阶跃时间曲线

P60.X250S带载200g，小幅值阶跃时间可达20ms。

技术参数

运动自由度：X

行程范围（0~120V）：±130μm

行程范围（0~150V）：±165μm

传感器：SGS

闭/开环分辨率：12/5nm

闭环线性度：0.1%F.S.

闭环重复定位精度：0.04%F.S.

俯仰/偏航/滚动：＜10μrad

推/拉力：300/30N

运动方向刚度：1.2 N/μm

空载谐振频率：490Hz

闭/开环空载阶跃时间：80/40ms

承载能力：0.6kg

静电容量：24.6μF

工作温度：-40~+80℃

抗振设计：半正弦15g，11ms

后峰锯齿波20g，11ms

材质：钢、铝

重量：950g

推荐控制器

P60.X250为一维X向差分驱动定位台，需配套两通道（含一路恒压）控制器，可配置芯明天四通道E70系列压电控制器，同时驱动两台P60.X250，实现精密运动控制。

责任编辑：tzh