Spartan EFEM系统可每小时加工450张晶圆

Spartan EFEM系统可每小时加工450张晶圆

Crossing Automation公司 (www.crossinginc.com)宣布，已经提高公司的Spartan设备前端模块（EFEM）的性能，将其每小时的加工能力提高至450张晶圆。改进设计的目的是满足高通量半导体制造工艺如剥离/去胶、清洗和离子注入的需要。由于拥有专有的晶圆机常压机器人，改进后的Spartan EFEM可在不到2.5秒的时间内以最快的速度进行晶圆切换，实现100%的工艺设备利用率。

　　“使设备生产能力最大化是设备供应商的核心竞争优势，同时也为IC制造商们降低设备的拥有成本，”Crossing Automation的产品营销副总裁May Su表示，“对于那些拥有每小时加工数百片晶圆的生产能力、但却因现有的常压机器人技术而无法开足产能的设备来说尤其重要。通过升级Spartan已经生产检验的计算晶圆运动路径的软件算法，我们现在能够让所有能通过商业手段购买到的EFEM发挥出最大产能，同时还能维持Spartan现有的可靠性和清洁度性能。”

　　增强版Spartan EFEM已通过某领先的剥离设备供应商的认证，并表明在现有的EFEM技术的技术基础上将加工能力提高了20%。此次实际生产验证Spartan平台的安装基数超过1000件，上线时间达99%。