压电物镜定位器的特性及技术参数

XD730.400压电物镜定位器是一款Z向运动的物镜驱动平台，Z向行程可达400μm，承载能力达0.5kg，采用柔性铰链设计机构，无摩擦、运动直线性好且闭环型号定位精度高。一体式螺纹适配器设计，可适配多种型号的显微镜，适于静态定位应用。

产品特性

• Z向运动

• 行程达400μm

• 承载达0.5kg

• 可选配闭环传感器

应用领域

• 激光加工

• 定位与扫描

• 聚焦显微

• 表面结构分析

螺纹适配器便于安装

XD730.400物镜定位器与物镜之间通过适配器连接，将物镜快速锁定在预期位置。多种螺纹牙可选，如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36“、M25×0.75、W0.8×1/36”等，也可定制，便于与显微镜集成安装。可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。

闭环线性度曲线

技术参数

型号：XD730.400

运动自由度：Z

行程范围（0~120V）：400μm

传感器类型：SGS

分辨率：18nm

闭环线性度：0.2%F.S.

闭环重复定位精度：0.05%F.S.

空载谐振频率：150Hz

承载能力：0.5kg

静电容量：28.8μF

工作温度范围：-20~80 ℃

材质：铝、钢

出线长：1.5m

传感/电压连接器：LEMO

责任编辑：tzh