太阳能电池
1)等离子化学气相沉积法 该法主要是采用H2稀释的硅烷气体的热分解,硅烷分解生成硅原子,沉积在衬底材料上形成非晶硅薄膜。
太阳能电池的制备
硅片切割-- 去除损伤层--制绒-扩散-刻蚀-PECVD沉积减反射层 -丝网印刷上下电极-烧结形成金属接触-分类检测-包装
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