光刻机的核心部件是什么

电子说

1.3w人已加入

描述

  一台高端的光刻机由上万个零部件构成,光刻机的主要核心部件主要分为两个部分:分别是对准系统和紫外光源。

  目前对准系统主要有两大难题,精密的机械工艺和对准显微镜系统。精密的机械工艺目前只有美国、德国少数国家有这方面的专利,而对准显微镜系统其实就是镜片,在这方面我国一直处于落后的状态。

  关于紫外光源,光刻机对光源的要求十分高,一是要有适当的波长,二是光要有足够的能量,三是光能量且必须要均匀的分布在曝光区。

  审核编辑:姚远香

打开APP阅读更多精彩内容
声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉

全部0条评论

快来发表一下你的评论吧 !

×
20
完善资料,
赚取积分