华林科纳在微系统应用中的LTCC技术报告

本文描述了我们华林科纳制造微系统的新LTCC技术，简要概述了各种LTCC传感器、执行器、加热和冷却装置，简要介绍了LTCC技术的最新应用(燃料电池、微反应器、光子学和MOEMS封装)。本文介绍了典型LTCC技术的一般信息，描述了用于制造mi­crosystems的新技术(细线图案化、LTCC带的微机械加工、层压、空腔、孔和通道的制造)，给出了最流行LTCC sen­sors和致动器应用的简短概述(气体传感器、气体和液体流量传感器、温度传感器压力sen­sor、接近传感器、微型阀、微型泵)。此外，还介绍了technolo­gy低温共烧陶瓷的最新应用，如燃料电池、微反应器、光子学和MOEMS封装等。

在LTCC模块的加工中，悬挂结构的下垂是一个问题，塑性变形发生在层压或共烧过程中，利用聚酯薄膜插件或使用较低的层压压力可防止层压变形，在不同压力下层压的激光切割通道的横截面。

生产微型甲醇燃料电池系统有两种方法:直接甲醇转化(DMFC)和基于微型重整器的系统,化学微反应器的开发是燃料电池微系统的关键要素, LTCC技术可应用于构建用于药物输送、生物参数监测、气相或液相色谱仪、冷却和热交换器、颗粒分离器、聚合酶链式反应(PCR)装置和微燃烧室的微系统。LTCC聚合酶链反应装置用于使用外部蠕动泵进行基因分型实验的DNA扩增,已经开发了三级LTCC微放电装置，其有效长度约为0.27毫米，圆柱形放电通道直径为140-150微米，并在氖气体/55/中运行,它可用作生物分子分析操作中的紫外光源，其中目标分子在紫外光下发出荧光,LTCC栅被用作场发射阵列中的聚焦电极，以获得高亮度和小电子束尺寸,LTCC材料将用于光纤和电光的下一代封装,光电系统需要使用光纤、同轴和/或其他互连方法通过封装直接输入/输出光、射频和其他敏感信号。

精确的光学对准对于实现性能至关重要,描述了基于LTCC结构的光电MEMS封装和激光对准,微机电系统封装是LTCC应用的另一个非常广泛的领域。

由于非常好的电气和机械性能、高可靠性和稳定性以及三维制造的可能性，LTCC技术满足了下一代微系统应用的要求 (3D)微观结构，新的LTCC技术是为制造微系统而开发的，本文简要概述了这些技术以及各种LTCC传感器、执行器、加热和冷却装置，LTCC技术的最新应用(燃料电池、微反应器、光子学和MOEMS封装)非常有希望。
 

审核编辑：鄢孟繁