压电宏微复合运动平台的特点及技术参数

随着压电应用技术的进步与发展，研究人员已经不再满足于微小位移、高精度的场景需求，带有高精度的更大的位移行程需求不断提出。此类压电产品也随着压电技术的发展进步应运而生。芯明天XYZ72SN81K13系列压电宏微复合运动平台，采用压电粘滑原理与压电微动技术相结合的方式，满足XY轴mm级大行程，并且实现Z轴nm级的高精度。

特 点

XY宏动毫米行程，适于镜头等位置横向调整Z向微动微米行程，适于光学聚焦调整Φ35mm中心通孔，适于透射光应用电压驱动控制，速度快，操作便捷

宏微复合

XYZ72SN81K13系列运动平台，采用宏微复合的方式，将压电粘滑原理与压电微动技术完美结合，可实现XY轴的大行程宏动，行程可达±5mm/轴;Z轴进行微动调节，行程可达8μm。

• XY毫米行程运动，压电螺钉驱动

XY轴采用芯明天设计生产的压电螺钉来驱动，它利用粘滑原理，具有行程大、精度高等特点。再结合中空式滑动平台，将压电螺钉的直线运动转换至滑动平台的XY轴运动。

• Z向微米行程运动，压电直驱结构

Z轴采用PZT压电直驱结构，提供微米级行程、纳米级精度。驱动电压与运动行程成线性关系。

配备笼式结构安装孔位

XYZ72SN81K13系列压电宏微复合运动平台是专为笼式结构中的应用而设计，结构中配备了笼式结构安装通孔，可直接集成到笼式结构中。它可用于带载任何光学元件，例如在笼式结构中带载透镜，XY向的运动调整可精确控制透镜焦点在平面内的中心位置，而Z向的微运动可对焦点在光轴上的位置进行精确的纳米级微调整。

XYZ72SN81K13系列压电宏微复合运动平台采用φ35mm的通光孔径结构，适合于光学应用。

Z向微动位移与电压曲线

不同于XY向的驱动原理，Z向驱动时，产生的位移与驱动电压成线性关系。

技术参数

型号：XYZ72SN81K13

运动自由度：XYZ

XY宏动行程：±5mm/轴

Z向微调行程：8μm@150V

XY最小位移增量：<30nm

Z向闭/开环分辨率：0.3/0.1nm

Z向微调传感器：SGS

Z向空载谐振频率：2.5kHz

承载能力：正立500g/侧放200g

审核编辑：汤梓红