芯片透射电镜测试—竞品分析

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描述

FIB制作激光芯片TEM薄片

透射电镜

fib减薄

TEM下观察指定位置并进行尺寸测量,如下图所示。

透射电镜

透射电镜

量子阱

对指定位置进行EDS面扫描测试,如下图所示。

透射电镜

 

透射电镜

 

透射电镜

审核编辑:符乾江

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