溅射薄膜高温压力变送器的应用说明

溅射薄膜高温压力变送器，就是采用溅射薄膜压力芯体，不锈钢焊接封装结构，高稳定性好、准确度高、耐冲击、抗振动，主要用于高温工业现场和工程环境设备应用。

溅射薄膜高温压力变送器的优点是承受压力高，可以工作在300MPa甚至可以更改高，，耐压和破裂压力高。相对同样耐压产品，具备更低成本优势。

溅射薄膜高温压力变送器，是采用离子束溅射和刻蚀技术，在不锈钢弹性膜片上制作薄膜电阻构成惠斯通电桥，流体压力作用在不锈钢弹性膜片上，使之产生形变，引起电阻值变化，电桥输出与压力成比例的电信号，通过一系列的信号处理和误差修正，转换为标准的电信号输出，从而实现对压力的测量。

溅射膜压力传感器制作中的一些关键技术包括：弹性膜片的材料及加工、溅射薄膜制备技术、光刻和激光调阻技术、产品稳定性技术（包括弹性体应力、薄膜内应力、产品装配应力提前加速去除、薄膜晶格及结构缺陷稳定性处理等），这些都是制溅射膜压力传感器大批量低成本生产的瓶颈。

应用：

（1）：发动机、采油机、热电机组、汽轮机、水轮机、机车制动系统。

（2）：油田油井仪器、油田测井仪器、井下仪器、井上平台。

（3）：实验室压力效验、流量调节系统、能源管理系统。

（4）：液压机、试验机、起重机液压系统、油缸油压。

审核编辑：符乾江