电子发烧友网报道(文/吴子鹏)5月19日上午,台湾新竹科学园区发生火灾,园区内的亚东气体工厂冒出滚滚浓烟,并伴有爆炸声音,由于亚东气体是变压器过热引发变电室起火,因此也波及到了整个新竹科学园区的供电。我们都知道,这里有密集分布的半导体企业。
针对火灾情况,新竹科学园区管理局表示,亚东气体厂区内变电器发生火灾,连带影响竹科发生C级压降,目前警消人员已紧急前往灌救,台电人员也紧急处理。根据最新消息,临近19日中午时分,火势得到了控制。
对于事故影响,亚东气体称,起火的厂房为新工厂,是一座独立新建的厂房,目前大部分设备已经进入,产线到了试车阶段,但并没有正式投入运转。由于亚东气体涉及到各项高纯度气体、电子级特殊气体及化学品功供应,新竹科学园区周边居民对于后续是否有空气方面的影响很是担心,亚东气体对此回应说,厂区生产很单纯,现场没有化学原料,主要运作为利用技术把空气吸入,透过压缩机分离出纯氧及纯氮,其实就是一般的空气,并非化学气体,民众不需要过于担心。
由于亚东气体此次火灾影响到了园区供电,因此业界对台湾半导体各厂商的情况也很关心,害怕出现突发状况,加重当前的产业缺芯情况。根据公开介绍,新竹科学园区是台湾第一大集成电路集聚区,晶圆制造方面的台积电、联电、立积电和世界先进均在园区有工厂,封测方面的欣邦科技、南茂电子、京元电子也在这里,而终端应用上的友达光电和HTC等同样在这里。在全球半导体圈子里,很多业者都将新竹科学园区称之为亚洲“硅谷”。
对于芯片制造来说,电力的稳定供应是必须要保证的。在晶圆代工厂里,24小时都要保障正常供电,在产线运转的过程中,无论是前道工序还是后道工序出现电压不稳或者断电,损失都是难以估量的。
有时候,在晶圆代工厂,短短几分钟的断电,就会让一批晶圆直接报废。以2021年4月台积电一次事故举例,当时台积电位于南科的FAB14 P7工厂突发停电事故,该工厂的主要工艺是40nm左右的成熟工艺,根据业界传闻,最终事故导致该工厂近4万片晶圆损毁,直接经济损失约2.3亿元人民币。
由于引发业界关注,新竹科学园区内的晶圆代工厂都紧急回应了事件影响。
台积电方面表示,竹科厂区生产营运并没有受到影响。
联电方面则表示,由于压降时间非常短,产线未受影响,目前生产一切正常。
相较于台积电和联电,立积电和世界先进有部分产线是没有配备不断电系统的,因此会受到一定程度的影响。
力积电回应称,有加装不断电系统的机台立即启动,没有受到影响,但未加装的机台受到约80多毫秒压降的影响,实际的报废晶圆数量还在评估中。
世界先进也指出,部分没有不断电系统的机台出现了停工的情况,已经在陆续复工的状态,不过由于停电仅仅持续了不到1秒的时间,因此影响比较有限。
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