ASML正致力于新一代High-NA光刻机制造，每台预计售价4亿美元

近日，据外媒路透社报道称，全球最先进的光刻机生产厂商ASML正致力于进行新一代光刻机的制造，预计第一台会在明年完工，将在2025能够正式投入使用，每台新光刻机售价预计在4亿美元左右。

新光刻机采用了High-NA光刻技术，High-NA指的是高数值孔径，据了解，这种High-NA光刻技术能降低66%的尺寸，也就意味着芯片制程能够进一步得到升级，芯片也将获得更高的性能，2nm之后的技术都得用这种技术来实现。High-NA光刻技术被认为是延续摩尔定律的关键。

不过采用了High-NA光刻技术的光刻机体积会比之前的光刻机要大30%左右，据悉重量会达到200吨，大小将会和双层巴士差不多大。

目前AMSL在High-NA光刻技术上还有一些压力，因为虽然光刻机是ASML生产的，但是ASML有着几百家零件供应商，对供应商的依赖性比较严重，所以一旦供应链出了问题，那么ASML的整个光刻机产业链都将受到影响。

综合整理自 DeepTech深科技 中关村在线 IT之家

审核编辑 黄昊宇