高吞吐量1/f和RTN噪声测量方案

 

1/f和RTN噪声测试可能需要很长时间，尤其是在测量频率低至1 Hz或更低的情况下。单一温度下的扫描时间通常长达30分钟。器件模型的标准数据采集需要在多个温度下在小垫上的DUT数据。

        这篇文章中，我们将涵盖实现高吞吐量闪烁噪声测量。闪烁和RTN噪声测试可能需要很长时间，尤其是在测量频率低至1 Hz或更低的情况下。单一温度下的扫描时间通常长达30分钟。器件模型的标准数据采集需要在多个温度下在小衬垫上的DUT数据。

为了降低测试成本（CoT），并显著提高晶圆上测试吞吐量，可以使用四种不同的方法将自动化添加到测试设置中：

1. 自动上料
2. 用于小pad接地优化的电动探针座
3. 自动探针与pad对准、变温测量
4. 多DUT自动测量

针对方法1，可以使用标准生产探针台来提高数据收集吞吐量，但这些探针台是专为高速生产测试而设计，而不是高精度闪烁噪声测量。探针台噪声严重影响了最终数据的准确性。

针对方法2、3和4，需要显著的技术发展——光学、机械和软件——来摆脱缓慢的手动探针定位。

在所有情况下，重要的是要注意，自动化方法不可通过向探测环境中添加或传输不需要的噪声来损害TestCell的低噪声性能。这是添加非优化温控、硬件和电子模块的传统方法的常见问题。

将我们的自动DC测量助手添加到CM300xi-ULN测量系统中，为工程师和实验室人员设置闪烁噪声测试创造了一个范例转变。现在可为半自动或全自动CM300xi-ULN系统设置一个高吞吐量TestCell，提供完全自动的24/7运行。

自动DC测量助手将电动探针座与最先进的图像处理技术相结合，可随时获得高度可靠的测量数据。其支持小pad接地优化、多种不同温度下的自动测试以及测试sub-die的自动探针定位。所有功能均经过优化，以确保超低噪声性能不受影响。

测量软件可以轻松调用单DUT和多DUT探针布局，实现完全自动化。自动DC测量助手负责所有复杂的变温管理，以及探针对准pad（PTPA）的热稳定时间优化。其结果是超低噪声测量，在低至30um pad上实现小的接触电阻，适用于任何闪烁噪声建模和扩展的温度区间（-55至200℃），涵盖晶圆上的所有裸片和所有晶圆。

审核编辑：符乾江