PAC200半自动低温探针台的功能和优点

PAC200半自动低温探针台是在低温探测环境下(液态氮低至77 K或液态氦小于20 K)自动测试高达300 mm的晶片和基板的理想解决方案。它支持广泛的应用程序。

如今，行业界的偶像和新兴企业都在大力投资超导技术的新用途。即，应对威胁到支持我们对数据，计算能力和互连设备不断增长的需求的计算基础架构的未来的巨大挑战。量子计算(基于量子位)有望开创人工智能，复杂系统优化，医学分子建模，密码学等新纪元。使用RSFQ(快速单通量量子)，RQL(倒数量子逻辑)或类似的新逻辑系列的超导冷CPU有望消除巨大的能源和热量问题，从而限制了HPC(高性能计算)超级计算机和超大规模数据中心的增长和位置。

这些新的低温处理器需要内存，并且要保持其能源优势，内存系统也必须是冷的。超导存储器可能还需要几年的时间，但是研究表明，传统的CMOS DRAM结构可以在77K等低温下非常有效地使用。需要低温晶片测试来调整工艺并确定存储器组件可在这些温度下使用的温度。

该PAC200半自动低温探针台是在低温环境下使用液氮在77 K或低于20 K的液氦下在低温环境下自动测试300 mm晶圆和基板的理想解决方案。它支持广泛的应用，包括最新硅，化合物半导体和超导体器件的DC和RF测量。探针压板设计用于在磁性脚上安装探针卡或最多八个真空型定位器。为了减少热量进入，将探针或探针卡热锚固在低温护罩上。行程范围为50 mm x 50 mm的高分辨率视频显微镜可安装在带旋转的显微镜支架上，也可安装在显微镜桥架上，用于振动敏感的测试应用和其他测试仪器。

以下是使PAC200探针系统灵活，稳定和易于使用的一些值得注意的功能和优点：

该系统是根据用户要求定制的

它为300mm以下的晶圆或单芯片提供不同的基板载体

电动平台提供可编程步进，可测试整个晶片上的多个芯片

Velox™探针台控制软件自动化测试并提高生产率

该系统提供广泛的电气测量(IV，CV，两端口，多端口和差分RF)

各种探针和校准工具(例如校准基板和WinCal XE™校准软件

可以使用其他测试设备(例如红外光源和光学器件)

真空室和隔热罩可提供低至77K(液氮)或低于20K(液氦)的无冰和无冷凝探测功能

压盘最多支持8个热锚定，可移动探针定位器或易于更换的探针卡，以增加探针数量

高度稳定的机械结构，带有隔振台，可提供很高的探头放置精度–非常适合小焊盘

它设计简单明了，易于操作，符合人体工程学

审核编辑：汤梓红