光谱共焦的测量原理及厚度测量模式

光谱共焦位移传感器通过一束白光（或多波长混合光） 经过一个小孔，经过镜头将不同的波长聚焦到光轴上， 色散地形成一条彩虹状分布带，照射到样品上，部分反射光反射回去。没有照射在光轴与物体表 面交点的光经过分光部件， 照射在另一个小孔周围被 阻挡，无法照射到光谱分析仪，不会干扰测量。照射在光轴与物体表面交 点的光经过分光部件，通 过小孔照射到光谱分析仪。根据波长计算就可以获得镜头到被测物距离。今天，小编介绍光谱共焦位移传感器检测原理和厚度检测模型。

光谱共焦检测技术分析特定表面上不一样波度的聚点位置，以实现精确的尺寸检测和微观形态分析。根据该检测原理，特定波度的可以聚点在样品的前面，而对于透明材料样品，两种不一样波度的可以聚点在样品的前面和后面。这是光谱共焦点提供的两种检测模式(位移检测模式、厚度检测模式)。

厚度检测模式：

检测玻璃、透镜等透明样品时，波度不一样的两条线可以聚点在样品的前后表面，获得样品折射系数参数后计算样品的厚度值。共焦检测较大，与卡尺等传统接触检测工具相比，具有所有非接触检测的优点，也具有通过单侧检测获得样品厚度值的特性。

折射系数直接影响厚度检测的数据精度，因此在检测开始时应先检查样品的返射率。返射率可以参考相似材质的数值，但为了获得更精确的厚度检测结果，必须使用返射率计检测样品的返射率。

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