光谱共焦如何测量玻璃基板厚度

玻璃基板在我们生活工作中很多显示元器件都能经常看到，这是一个表面及其平整的薄玻璃片，目前在商用的玻璃基板的厚度0.7 mm及0.5m m，还有其用于特殊领域的超薄玻璃，因此对于其精度要求是非常高的。

光谱共焦如何测量玻璃基板厚度

那么如何测量玻璃基板厚度呢？

传统的测量接触式测量不仅精度无法保证，而且很容易对玻璃表面造成二次伤害，那么有什么办法呢？2014年深圳立仪科技有限公司自主研发处理非接触式测量光谱共焦位移传感器。光谱共焦传感器具有高精度、高稳定性、大角度、高采样频率等测量特性，对于塑料薄膜、玻璃、高光金属等透明或不透明的镜面/半镜面反射材料，以及多层透明材料厚度测量具有特有优势。

光谱共焦传感器根据不同材料测量需求，可采用单测头测厚仪或双测头测量。对于透明材料多采用单测头测量。

光谱共焦如何测量玻璃基板厚度

由于玻璃基板厚度非常薄，而厚度尺寸管控又非常严格，一般在0.01mm的公差，主要准确地测量玻璃厚度、翘曲和平行度。采用立仪光谱共焦传感器很好的解决这一难题并防止了二次损伤。

审核编辑：符乾江