Cascade高级精细的工具简化了超低温测试

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高级精细的工具简化了超低温测试

低温工具软件是一种Velox应用程序,通过控制真空泵和冷却液参数,可在极端环境中进行精确的晶圆上测量。它是为低温探针台系统开发的,可以测试冷却红外传感器和需要低温的尖端技术。它支持辅助功能,如自动重新填充液氮杜瓦瓶和自动交换红外辐射源(黑体)。

真空 / 超低温探针台的图形界面

过程参数的实时显示

向导化的操作

半自动化流程工具

晶圆

审核编辑:符乾江

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