在自动CM300xi探针台上进行手动调整

 

FormFactor的强大功能自动化功能，可在多个温度下进行无人值守的测试通过将操作员的干预减少到最低程度，有助于提高数据的准确性和最小化测试成本。但是，在安装全新的测量装置或更换设备时，即使是最高程度的自动化也要依靠人工干预和手动调整。当处理价值数千美元的高度复杂的探针或探针卡时，探针台的直观，快速和安全的操作至关重要。

持续优化

 

我们在FormFactor不断优化我们行业领先的300 mm晶圆探针台的人体工程学功能和调整能力CM300xi增强操作员体验并简化测量工作流程。这不仅使工程师和操作员可以轻松便捷地使用我们的探针台，从而带来了高产和创新的工作氛围。它还有助于避免因错误操作或误操作而造成的材料损坏而造成的成本和延误。

在X，Y和Z中进行手动调整

我们的3D手动控制提供了一种在X，Y和Z方向上手动移动卡盘的额外且非常直观的方法。使用XY旋钮用于将卡盘沿X和Y方向定位压板提升用于控制晶片和探针之间的距离。

CM300xi压板提升机是一个虚拟功能。 CM300xi的压板不是真正移动的，而是固定的，可以提高稳定性和准确性。取而代之的是，Platen Lift可以使卡盘和显微镜载物台同步移动，从而在探针和晶圆移至分离状态时，显微镜图像保持聚焦在晶圆水平上。因此，其净效果类似于传统的机械压纸提升机。确实，您几乎不会注意到差异。

我们的应用工程师喜欢此功能，因为它可以节省执行对齐任务的时间。典型的用例包括设置接触高度并执行测量脚本的“空运行”。

想象一下，您编写了一个漫长的测量例程，该例程应该在整个晚上甚至整个周末运行。快速确定间隔高度的探头快速进行空运行，以确保一切设置正确，这不是很好吗？使用CM300xi压板提升机，可以快速便捷地完成此任务。准备好测量设置并编写脚本后，在开始实际操作之前，向上移动压板提升器以分离探针和晶片。然后启动您的脚本。空运行。跟踪脚本的执行并在必要时进行调试。一切编程和调整正确吗？太好了，只需将压板提升机移回接触并开始进行真实测量即可。[1]

除了我们精心安排的状态反馈Velox探针台控制软件，符合人体工程学的位置，清晰可见压板提升控制杆可提供有关联系人状态的其他视觉反馈。

压板提升和手动XY旋钮是FormFactor的一部分3D手动控制用于CM300xi探针台。它们使您能够在X和Y上进行符合人体工程学的手动调整，并控制分离距离。 3D手动控件是所有新CM300xi探针台均可使用的可选功能。可根据要求对现有机器进行现场升级。

审核编辑：符乾江