euv光刻机目前几纳米 中国5纳米光刻机突破了吗

大家都知道，芯片制造的核心设备之一就是光刻机了。现在，全球最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机，那么euv光刻机目前几纳米呢？

到现在，世界上最先进的光刻机能够实现5nm的加工。也就是荷兰ASML的极紫外光刻机（EUV），这个是当前世界顶级的光刻机设备。

在芯片加工的时候，光刻机是用一系列光源能量和形状控制手段，通过带有电路图的掩模传输光束。

光刻设备涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密材料传输、高精度微环境控制等多项先进技术。是半导体行业技术含量最高的设备。

文章综合懂视网、CSDN、百度百科

审核编辑：何安