上扬软件升级发布设备故障侦测和分类Terra FDC 2.0

 

近日，上扬软件升级发布设备故障侦测和分类Terra FDC 2.0，升级后的2.0版本能够更有效地提高机台设备的利用率，从而降低生产成本、提高工厂效率。

半导体加工设备投资成本巨大，晶圆厂建厂超过75%的成本用于设备采购，因此，设备效率最大化是半导体厂降本提效的主要方式之一。因此，以故障监测、分类和预测为主要功能的FDC正是提高设备利用率的利器。

FDC高频次采集机台生产工艺中的关键数据，利用算法和经验模型，包括统计学算法、工艺模型的算法和人工智能算法，预配置参数的限制值，持续监控设备参数，以对设备健康状态提供主动而快速的反馈，如侦测到设备故障，则采取相关警报和控制功能。

FDC通过对机台运行（生产，待机）实时监控，包括整体机和子腔体，从而实现以下功能：一是避免设备故障造成的产品不良，提升产品良率；二是减少设备意外停机时间，提高产品周转率。三是减少测试晶片运用，达到降低成本的目的。

作为半导体智能制造软件CIM的重要子系统之一，FDC也是长期被国外厂商垄断。国产FDC市场势孤力薄，产品小众化，在主流的8英寸和12英寸晶圆厂上没有进行过验证，主要是集中在中小半导体厂，市场占有率很低，很难形成规模。另外，从技术来说，验证算法和算法都相对比较单一，只能做到设备的单边量分析，多变量分析还是比较薄弱；三是由于技术上的差距，服务也是与国际一流的FDC有一定的差别，所以在服务上，对于客户上的帮助还是很有限，很难从工艺或设备的角度，以及从系统和算法的角度上来说，帮助客户提升工艺水平。

上扬软件升级后的Terra FDC采用「分层诊断」，透过一层层的故障侦测法则，如同天罗地网般侦测机台设备可能发生的故障诊断与分类。其核心优势有三点：

01对设备数据进行高频次采集，至少支持100毫秒的频率，约为10HZ02基于深度学习进行边缘AI计算，提高高频数据采样的效率，甚至达到100HZ。03多变量分析：利用大数据技术，支持多元数据分析。

此次，上扬软件发布的Terra FDC 2.0将推动国产FDC的发展，助力构建国产市场的新格局。　　

      审核编辑：彭静