3d光学轮廓仪测物体表面粗糙度

3d光学轮廓仪主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓，以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。

SuperViewW1光学轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量。

粗糙度分析操作步骤：
1. 将样品放置在夹具上，确保样品状态稳定；
2. 将夹具放置在载物台上；
3. 检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；
4. 使用操纵杆调节三轴位置，将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹；
5. 完成扫描设置和命名等操作；
6. 点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会）；
7. 进入数据处理界面，点击“去除外形”，采用默认参数，点击应用获取样品表面粗糙度轮廓；
8. 进入分析工具模块，点击参数分析，直接获取面粗糙度数据，点击右侧参数标准可更换参数标准，增删参数类型；
9. 如果想获取线粗糙度数据，则需提取剖面线；
10. 进入数据处理界面，点击“提取剖面”图标，选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取；
11. 进入分析工具界面，点击“参数分析”图标，点击右侧参数标准，勾选所需线粗糙度相关参数，即可获取线粗糙度Ra数据。

应用

在3C领域，光学轮廓仪可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；
在LED行业，光学轮廓仪可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度；
在光纤通信行业，光学轮廓仪可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；
在集成电路行业，光学轮廓仪可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；
在EMES行业，光学轮廓仪可以测量台阶高度和表面粗糙度；
在军事领域，光学轮廓仪可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。

此外，3d光学轮廓仪具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测；可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的微观几何轮廓、粗糙度、平整度、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

审核编辑 黄昊宇